徕卡DM3XL显微镜

产品简介:

徕卡DM3XL微电子和半导体专用显微镜,微电子和半导体行业中,检验、过程控制或缺陷和故障分析。

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产品详情

一、徕卡DM3XL显微镜参数
 
光学系统 Leica无限远校正光学系统
照明装置 入射光/透射光
物镜转盘 5xBF/DF M32、6xBF M25和7xBF M25物镜转盘
载物台 150mmx150mm,适用于6"样品的晶片夹,适用于大块扁平样品的金属板,行程30mm
观察筒 双目观察筒/三目观察筒/可倾斜观察筒
物镜 5x、10x、20x高反差平场消色差EPI物镜,2.5x-100x平场消色差EPI物镜,
1.25x-100x平场半复消色差物镜,0.7x宏观50x、100x、150x平场复消色差物镜
目镜 10倍视场直径25mm
选配装置 选配放大倍率调节器(1x、1.5x、2x),选配测量载物台,适用于x、y和z向测量

二、徕卡DM3XL显微镜简介
 
快速检测,快速响应
微电子和半导体用检验系统DM3 XL
在微电子和半导体行业中,检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快,您做出响应的速度也就越快。
DM3 XL检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷,提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜,视场宽敞30%。
徕卡微电子检验显微镜DM3 XL结构图
 
三、产品特点 Infocation
 
1、更多细节
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到6"的大组件,DM3 XL提供独特的宏观物镜。利用0.7x放大倍率,它可以即刻采集35.7mm的视场–比其他常规扫描物镜宽敞30%,在宏观物镜下,缺陷无所遁形
 
2、LED照明
DM3 XL针对所有相衬观察方法使用LED照明。LED照明可提供恒定的色温,并在所有亮度等级下提供真彩色成像。在所有亮度等级下实现真彩色成像,自由调节,无需更换灯泡–无停机时间,可复制的结果,由于LED使用寿命长,耗电量低,因此还具有巨大的成本节约潜力。
 
3、种类丰富的载物台
无论您想要检验的样品是哪种类型,尺寸如何,均有种类丰富的载物台插件供您选择:载物台尺寸:150mmx150mm,载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座,快速的粗略或精准载物台定位
 
四、徕卡DM3XL显微镜市场价格及销售商

朗研图像

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